製品紹介
プリカーサー容器
製品概要
原子層堆積（ALD）・化学気相成長（CVD）に最適な高純度プリカーサー容器。優れた気密性・耐薬品性を備え、成膜の安定性向上に貢献。視認性に優れた透明ガラス製モデルや加熱対応・密閉型モデルもラインナップ。
製品一覧
高纯前驱体材料容器
MO原料容器
固体前駆体材料ソースボトル
サンプリングボトル容器
中・大型高純度化学圧力容器貯蔵タンク
製品紹介
高純度プリカーサー材料容器
用途： TEOS、HCDSなど
規格：
2gal、5gal、10gal
1L、1.2L、 1.8L、 3L 、7L、10L等
Other sizes based on customer requirements
充填薬品： TEOS，HCDSなど
薬品純度：≥99.999%の材料
MO 原材料 CANISTER
規格：0.2kg、0.5kg、1kg、2kg、4kg 、16kg、70kgなど
充填薬品： TMI，TMG,TMA、TEGなど
固体前駆体材料ソースボトル
※規格：1L,1.2L ,1.8L , 5L ,8L ,10L など
※充填薬品： ALCl3, HfCl4, ZrCl4など
※薬品純度：5N~8N
※この製品の性能とさまざまな技術は国際基準に準拠しており、残留物含有量と耐食性はすでに国際基準を上回っています。
中・大型高純度化学圧力容器貯蔵タンク
※用途：TEOS、HCDS、BDEAS、TCS、TMA、TiCl4 など
※規格：500L、900L、1000L、2600L、26000L など
※薬品純度：5N～9N
液体前駆体材料 BYPASS ボトル
規格：SG2、SG5、SG10、SG55など
充填薬品： TEOS，HCDSなど
薬品純度：6N~9N
技術仕様
| 容量 | 型番 | 胴体長 L1 (mm) | 胴体重量 (kg) | 容器長 L2 (mm) | 全長 L3 (mm) | 容器重量(kg) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 28L | HJL II-211-28-2.0T | 690 | 14.8 | 845 | 880 | 21.3 |
| 30L | HJL II-211-30-2.0T | 745 | 16.0 | 900 | 935 | 22.5 |
| 35L | HJL II-211-35-2.0T | 890 | 19.1 | 1045 | 1080 | 25.6 |
| 38L | HJL II-211-38-2.0T | 975 | 20.9 | 1130 | 1165 | 27.4 |
| 40L | HJL II-211-40-2.0T | 1035 | 22.2 | 1190 | 1225 | 28.7 |
| 45L | HJL II-211-45-2.0T | 1175 | 25.2 | 1330 | 1365 | 31.7 |
| 47L | HJL II-211-47-2.0T | 1235 | 26.5 | 1390 | 1425 | 33.0 |
| 50L | HJL II-211-50-2.0T | 1320 | 28.3 | 1475 | 1510 | 34.8 |
| 52L | HJL II-211-52-2.0T | 1375 | 29.5 | 1530 | 1565 | 36.0 |