製品紹介
ドライ工程用部品
ドライ工程用部品に関する
康楽の強み
康楽株式会社では、半導体・化学プロセスに不可欠な高純度ガス供給ライン向けに、Precursor容器、Si／SiC製部品、MFC、バルブ、レベルセンサーなど多様な精密部材を一貫供給。厳格な品質管理のもと、安定供給体制を確立しており、高信頼性が求められる分野でも継続的に製品をお届けできることが当社の強みです。
ドライ工程用部品 一覧
プリカーサ容器
2019年の生産開始以来、3万個超の納入実績。主要FABにも採用され、台湾・米国など海外展開も加速中です。高品質と技術力で信頼を獲得しています。
Si部品
半導体装置等で使用されるシリコン高耐熱部品などを取り扱っております。各工程向けの部品をお探しの場合、お問合せ下さい。中国で加工しますのでコストメリットがございます。
SiC部品
RFQ要件に応じた精密開発を実施し、「設計-試作-量産」まで一貫対応しています。二重検証で設計通りの品質を保証し、高純度素材を在庫・短納期対応が可能です。導入実績は世界20社以上です。
耐食コーティング
半導体用の高純度ガスによって、ガス容器やガスバルブが腐食してしまう問題を解決するための特殊コーティングを開発。当社の取り扱い製品は、様々な半導体製造装置用配管、真空ポンプ、チャンバーパーツなどに採用されてきた実績があり、今では半導体製造装置メーカーにとって欠かせない製品となっています。
バルブ
ウェットプロセス関連の樹脂バルブ、またはドライプロセス関連の金属バルブの汎用品のいずれにつきましても、安定的にお客様へ供給可能です。
レベルセンサー
康楽LS250シリーズレベルセンサーは、高温環境でも使用可能な高精度モデル。液面5mmまで測定でき、LED表示と％表示でメンテナンスも容易。他社製品に比べノイズ耐性・温度補正にも優れています。