製品紹介
プリカーサー容器
プリカーサー容器 - 康楽の強み
- ✅ 3万個以上の納入実績
2019年から半導体業界に向けて高純度容器を供給。多くの大手電子材料企業に採用されています。 - ✅ 主要グローバル企業で採用
中国・台湾・韓国の主要FABやパネルメーカーに採用。 - ✅ グローバルな技術対応
米国、日本、ロシア、マレーシアなどにも展開し、地域に応じたカスタマーサポートを提供。
1. 製品概要・用途
製品概要
- 原子層堆積（ALD）・化学気相成長（CVD）に最適な高純度プリカーサー容器。
- 優れた気密性・耐薬品性を備え、成膜の安定性向上に貢献。
- 視認性に優れた透明ガラス製モデルや加熱対応・密閉型モデルもラインナップ。
用途
- 半導体製造工程（ルテニウム・タングステン等の成膜）
- ディスプレイ（OLED・液晶）
- MEMSデバイス用成膜
- R&D用途の精密分析機器
2. 関連製品・アクセサリー
- 貴金属系プリカーサー（ルテニウム、コバルト）
- スパッタリングターゲット（焼結／溶解）
- メタルガスケット（ICF34/70）
- 加熱ヒーターシステム
3. 製品紹介
製品紹介
MO原料容器
MO 原材料 CANISTER
規格：0.2kg、0.5kg、1kg、2kg、4kg 、16kg、70kgなど
充填薬品： TMI，TMG,TMA、TEGなど
製品紹介
半導体電子化学材料容器
液体前駆体材料BUBBLER CANISTER
規格：SG2、SG5、SG10、SG55など
充填薬品： TEOS，HCDSなど
薬品純度：6N~9N
液体前駆体材料 BYPASS ボトル
規格：SG2、SG5、SG10、SG55など
充填薬品： TEOS，HCDSなど
薬品純度：6N~9N
固体前駆体材料ソースボトル
※規格：1L,1.2L ,1.8L , 5L ,8L ,10L など
※充填薬品： ALCl3, HfCl4, ZrCl4など
※薬品純度：5N~8N
※この製品の性能とさまざまな技術は国際基準に準拠しており、残留物含有量と耐食性はすでに国際基準を上回っています。
中・大型高純度化学圧力容器貯蔵タンク
※規格：500L、900L 、1000L 、2600L 、 26000Lなど
※充填薬品：MTS、 TMA、TCS、TiCl4など
※薬品純度：5N~9N
製品紹介
サンプリングボトル容器
高純度薬品サンプリングボトル
※規格：25ml、50ml、100ml、200mlなど
※充填薬品：液体または固体のサンプリングのニーズ
※薬品純度：5N~9N