製品紹介
高純度プリカーサー容器
プリカーサー容器 - 康楽の強み
- ✅ 3万個以上の納入実績
2019年から半導体業界に向けて高純度容器を供給。多くの大手電子材料企業に採用されています。 - ✅ 主要グローバル企業で採用
中国・台湾・韓国の主要FABやパネルメーカーに採用。 - ✅ グローバルな技術対応
米国、日本、ロシア、マレーシアなどにも展開し、地域に応じたカスタマーサポートを提供。
1. 製品概要・用途
製品概要
- 原子層堆積（ALD）・化学気相成長（CVD）に最適な高純度プリカーサー容器。
- 優れた気密性・耐薬品性を備え、成膜の安定性向上に貢献。
- 視認性に優れた透明ガラス製モデルや加熱対応・密閉型モデルもラインナップ。
用途
- 半導体製造工程（ルテニウム・タングステン等の成膜）
- ディスプレイ（OLED・液晶）
- MEMSデバイス用成膜
- R&D用途の精密分析機器
2. 製品紹介
製品紹介
MO原料容器
MO 原材料 CANISTER
※規格：0.2kg、0.5kg、1kg、2kg、4kg 、16kg、70kgなど
※充填薬品： TMI、TMG、TMA、TEGなど
※純度：≥99.999%
製品紹介
半導体電子化学材料容器
高純度プリカーサー容器
High-purity precursor material canister
/bubbler
※規格：
2gal、5gal、10gal など
1L、1.2L、1.8L、3L、7L、10L など
※顧客要求に応じた設計・加工・生産が可能
※充填品： TEOS，HCDSなど
※純度：≥99.999%
固体前駆体材料ソースボトル
※規格：1L,1.2L ,1.8L , 5L ,8L ,10L など
※充填薬品： ALCl3, HfCl4, ZrCl4など
※薬品純度：度≥99.999%
中・大型高純度化学圧力容器貯蔵タンク
※規格：500L、900L 、1000L 、2600L 、 26000Lなど
※充填薬品：：TEOS、HCDS、BDEAS、TCS、TMA、TiCl4など
※薬品純度：度≥99.995%